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ZYGO 白光干涉仪视野受限，德国 大视场（Large F...

相干扫描干涉（CSI, Coherence Scanning Interferometry）是 ZYGO 白光干涉仪（White Light Interferom...

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2026

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德国 大视场新突破：兼容高倍、无需依赖 ZYGO 方案

在白光干涉三维形貌计量领域，ZYGO 的 CSI 相干扫描方案长期作为主流选型，但其原生大视场架构存在固有局限：大视场模块属于专用配套组件，与常规高 NA（Num...

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ZYGO 不唯一，德国 大视场技术实现高精度大视野兼容

在白光干涉三维形貌计量领域，ZYGO 的 CSI 相干扫描干涉方案长期是行业标杆，但其原生大视场方案存在明显约束：专用广角物镜与常规高倍干涉物镜光学架构差异大，齐...

09

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超越 ZYGO 传统架构，德国 大视场（Large Fie...

白光干涉仪（WLI，White Light Interferometer）是半导体、MEMS 器件、薄膜形貌检测主流的非接触三维轮廓测量设备。ZYGO 传统相干扫...

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